安定化電源と規格に基づいた安全試験

電源事業部

新製品

HiPIMS電源(High Power Impulse Magnetron Sputtening)
※DLC膜用当該電源は、ナノテック株式会社とのライセンス契約に基づき製作・販売しております。

 

オプション仕様例

【位相調整型】
下記図の周期(Tc)、パルス幅(Tpon)、時間差(Td)を自在設定
最小設定単位0.1μsec
多元スパッタ、バイアス電源など対応
ベース電圧タイプ、RF重畳タイプも可能

 

HiPIMS電源デモ機のご案内

【大電力タイプ】
出力電源:60kWmax(平均)
     :480kWmax(瞬時)
出力パルス:1200Vmax/400Amax
周波数可変範囲:500Hz〜5kHz
Duty可変範囲 :0.5〜95%
右データはピーク電力1.42kW/cm2
6ターゲット面積 176.625cm2
カーボンターゲット使用

【高周波タイプ】
SiC素子仕様、高速スイッチング型
出力電源 :5kWmax(平均)
    :36kWmax(瞬時)
出力パルス:1200Vmax/30Amax
周波数可変範囲:1kHz〜150kHz
Duty可変範囲 :0.5〜95%

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