安定化電源と規格に基づいた安全試験

電源事業部

PWMスパッタ電源

PWMスイッチング方式による高効率直流電源です
スパッタリング用に特化しており、数μsでのアーク処理も可能です。
カスタマイズ機能の付与も対応します。
本仕様書はDCスパッタリング電源1.5kW/4kW/10kW/15kW/20kWタイプに規定するもので、標準的機能を記載しています。この他にもご要望に応じた対応が可能です。

   

■1.1.電気的仕様

(1)交流入力

定格入力:3相,50/60Hz,200V/220V
入力範囲:180V~220V/198V~242V
受電容量:1.5kWタイプ 約2.1kVA
       4kWタイプ 約5.6KVA
       10kWタイプ 約13.9KVA
       15kWタイプ 約20.8KVA
       20kWタイプ 約27.8KVA
力率:約0.8(遅れ、定格出力時)
効率:約90%(定格出力時)

(2)直流出力

定格電力:1.5kW/4kW/10kW/15kW/20kW
定格電圧:800V
最大電流:3.75A/10A/25A/37.5A/50A
最大無負荷電圧:約1050V
電圧電流範囲:           Im:最大電流

          

(3)制御モード

定電力(CP)/定電流(CC)/定電圧(CV)の何れか選択

(4)出力調整範囲

定電力制御:0~定格電力
定電流制御:0~最大電流(但し定格電力を超えない範囲)
定電圧制御:0~800V(但し定格電力を超えない範囲)
(但し、各定格の0~20%では下記電圧リプルは保証しません。)

(5)出力電圧リプル(抵抗負荷時)

・定電力制御時±3%p-p以下(定格電力の20~100%)
・定電流制御時±3%p-p以下(定格電流の20~100%)
・定電圧制御時±3%p-p以下(定格電圧の20~100%)

(6)静的制御特性
(a)負荷変動率

・定電力制御時±1%以下(負荷変動1:2の時)
・定電流制御時±1%以下(負荷変動1:4の時)
・定電圧制御時±1%以下(負荷変動20~100%の時)

(b)電源変動率

±1%以下(入力:180V~220V/198V~242V)

(7)異常放電制御
(a)アーク処理A

負荷異常放電時には、瞬時にインバータを停止します。その後所定時間(数m秒~数百m秒)経過後、自動復帰(インバータ再起動)させます。
異常放電制御動作時、パネル部LEDを点灯します。

(b)アーク処理B(オプション)

出力段に半導体スイッチを設けて、より高速(数μ秒~数百μ秒)にアーク処理を行います。

1.2.温度上昇

半導体:60deg以下(温度計法)
巻線・鉄心:A種絶縁50deg以下(温度計法)
:B種絶縁70deg以下(温度計法)

1.3.絶縁
(1)絶縁抵抗

筐体~入力間:DC500Vメガーにて10MΩ以上
入力~出力間:DC500Vメガーにて10MΩ以上

(2)絶縁耐圧

筐体~入力間:AC1.5kV、1分間で異常ないこと
入力~出力間:AC1.5kV、1分間で異常ないこと

1.4.定格

連続

1.5.冷却方法

強制風冷

1.6.保護機能

下記保護機能動作時には、出力を停止します。復帰はリセット釦又は
外部リセット信号により行います。
(1)出力過電圧 出力電圧が1200Vを超えた時、動作します。
(2)コンバータ過電流 DC/DCコンバータ1次電流が定格時の130%を超えた時、動作します。
(3)過熱 半導体用冷却体温度が90℃(100℃)を超えた時、動作します。
(4)ヒューズ DC/DCコンバータ入力部ヒューズが溶断時、動作します。
(5)外部インターロック 外部インターロック用接点が開放時、動作します。

1.7.操作モード

本電源は、リモートモードとローカルモードの2つの操作方法があり、
電源投入時はリモートモードが選択されます。

1.8.外部インターフェース信号

(1)出力ON/OFF外部から電圧24V(10V)を印加することにより、出力がONします。
(2)異常リセット外部から電圧24V(10V)を印加することにより、異常リセットします。
(3)外部インターロック
外部から電圧24V(10V)を印加することにより、外部インターロックが解除されます。
(上記、(1)~(3)の信号形態はフォトカプラのダイオードとなります。)
(4)出力設定外部から0~10Vの電圧を印加することにより、選択した制御モード
(CP/CC/CV)にて0~定格まで出力します。
(5)出力アンサー出力ON指令時に正常に出力している場合、信号を送出します。信号形態はフォトカプラのトランジスタで、正常時にオン状態となります。
注)正常出力の判断は、出力電流約10%以上且つ、出力電圧約150V以上の場合とします。
(6)電源異常電源が異常の場合、信号を送出します。
信号形態はフォトカプラのトランジスタで、電源が正常時にオン状態となります。
(7)出力モニター電力/電流/電圧、各モニター信号を送出します。
信号レベルは(0~10V)/(出力ゼロ~定格)となります。

1.9.計測

(1)操作パネルのデジタルメータにて、出力電力/電流/電圧を計測できます。
  出力電力/電流/電圧の表示切替はパネル面スイッチにより行います。
(2)設定値と出力値の誤差は、3%以下とします。

1.10.非常停止(オプション)

パネル前面非常停止ボタン又は、外部からのインターロック信号により、交流入力を切断すると同時に出力を停止します。

1.11.外形、重量

1.5kWタイプ:480W-99H-600D(突起物含まず)
約15kg
4kWタイプ:480W-133H-600D(突起物含まず)
約25kg
10kWタイプ:480W-133H-600D(突起物含まず)
約30kg
15kWタイプ:480W-133H-700D(突起物含まず)
約35kg
20kWタイプ:480W-133H-700D(突起物含まず)
約40kg

1.12.使用環境

温度 0~40℃
湿度 35~90%(結露なきこと)

1.13.塗装色

マンセル 5Y7/1 半艶

1.14.保証

連続

1.5.冷却方法

強制風冷

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