安定化電源と規格に基づいた安全試験

電源事業部

真空放電電源

S series
サイリスタによる位相制御とトランジスタによる直列制御を併用した高性能スパッタ用の安定化直流電源装置です。各種イオンプレーティング用のバイアス電源やプラズマエッチング、イオン加速用電源など真空プラズマシステムに必要な直流安定化電源装置です。打ち合わせに応じ各種フィルタを内蔵し、出荷いたします。現地試運転調整にも対応します。標準のサイリスタ+トランジスタ制御型のほかに機種によっては、軽量タイプのスイッチング型も製造しています。

■性能・特徴

・高圧タイプも10kV以上のものも製作可能
・パルスタイプも対応いたします。詳細はパルス電源HPシリーズをご参照下さい。
標準型の設定は特にありません。ご要望の電圧・電流にて製作いたします。
標準最大出力電圧20kV

各種イオンソース用セット電源

S series
プラズマ生成用電源からイオン化促進用、フォーカス用、バイアス用など、複数台の電源をJISラックに収納し、コントロールパネルにてリモート制御するまで一貫した電源装置を製造します。RF電源との重畳用も可能です。客先制御盤にあわせた寸法製作も対応します。

■製作例

製作例1
コントロールパネル 1式
熱電子発生用フィラメント電源 4セット
プラズマ発生用アノード電源 4セット
フォーカス用電源 4セット
バイアス用電源 1セット
上記システムを盤面1800HのJISラック2本に収納

製作例2
コントロールパネル 1式
熱電子発生用フィラメント電源 1セット
プラズマ発生用アノード電源 1セット
サプレッサ電源 1セット
アーキング防止用ニュートラライザ電源 1セット
ビーム収束用電源 1セット
イオン加速電源 1セット
上記システムを盤面1350HのJISラックに収納

HCD放電電源・アーク放電電源

DCS series
サイリスタによる位相制御とトランジスタによる直列制御を併用した高性能スパッタ用の安定化直流電源装置です。サイリスタ位相制御のみのコンパクトタイプの製作も可能。

カソード(Cathode)、坩堝(るつぼ)の製造も承ります。仕様の詳細は担当までご連絡下さい。

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