安定化電源と規格に基づいた安全試験

電源事業部

グロー放電用パルス電源

HP series
高周波パルス、短パルスのスパッタリング用電源です。マグネトロンスパッタ方式、RFマグネトロンスパッタ、グロー放電などに使用できます。

<高電力>
100kW瞬時電力

<高密度プラズマの生成>
マグネトロンスパッタによるプラズマ密度1010 → 大電力パルススパッタによるプラズマ密度1011~12

<パルス形成>
アークのないグロー大電力

<任意のパルス幅設定>
パルス幅の調整によってアークレス放電達成

<基材もパルスバイアスを使うことでパルスプラズマによる成膜制御>
従来の被膜の大幅な膜質改善の可能性

■特 徴

外部信号による出力タイミングの設定
アーキングレスのグロー大電力パルス形成
マッチングボックス不要の高周波プラズマ
100kW瞬時電力

■特 徴

外部信号による出力タイミングの設定
アーキングレスのグロー大電力パルス形成
マッチングボックス不要の高周波プラズマ
100kW瞬時電力

■用 途

スパッタ装置として各種あることから、様々な技術分野で広く使われていて、最近では、高品質の薄膜が要求される半導体・液晶・プラズマディスプレイ・光ディスク用の薄膜にもスパッタ装置が使用されています。
他:光学薄膜、バリア膜、有機EL、光触媒膜、ITO膜、パルスマグネトロンスパッタグロー放電、ホロカソードグロー放電、パルスRFプラズマ、真空アーク、イオン注入、電子加速、高磁場発生などで使用。

■共通仕様

真空放電電源 HP series "共通仕様"
入力電源 三相200V ±10%
50/60Hz
  リモート制御 定電圧/定電流のリモート制御
対接地電圧 最大出力電圧
+200VDC
冷却 ファンモーターによる強制冷却
出力制御 定電圧/定電流の動作を各モードに切替 入力端子 背面端子台
出力制御表示 定電圧/定電流の動作をランプ表示 出力端子 背面端子台
出力電圧 出力電圧 0~6000V 周囲温度 0~40℃
可変 ポテンションメーターによる連続可変 温度係数 100PPM/℃
(定電圧、標準値)
定電流制御時 連続定格 保護制御装置

過電圧保護
過電流保護
ヒューズ出力遮断
異常放電制御
逆流保護

出力電流 出力電流 10~2000A
可変 ポテンションメーターによる連続可変
定電圧制御時 連続定格
瞬時電力 ~100kW オプション ・計器類デジタル表示
・リモート起動制御
・水冷機能
・GP-IB制御
・電圧センシング端子
パルス幅 10μs~1000μs
パルス繰り返し周波数 1~2000Hz
パルス立ち上がり 1500V/μs
出力極性 正または負
出力計器 電圧計(アナログ2.5級)
電流計(アナログ2.5級)
周波数計、デューティー計

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